일반기술

박막 필름 결함검출장치

*원리 및 구성 본 기술은 받침대에 지지되며 좌,우 상면 양측에 이송가이드가 설치된 베이스판과, 상면에 검사용 박막이 얹혀지며 이 베이스판의 이송가이드와 결합되는 이송지그가 좌,우 측면에 설치된 이송대와 이송대를 이송하기 위한 이송수단과, 이 베이스판 하면에 설치되어 적외선을 방출하는 레이저 라인빔과 이 레이저 라인빔에서 방출된 산란된 적외선을 검출하기 위한 일정 간극을 유지한 한 쌍의 적외선 센서모듈과 이 적외선 센서모듈이 얹혀지며 이 베이스판에 고정설치되는 지지대와 이 적외선 센서모듈에서 검출된 적외선을 비교 분석하여 결함여부를 판정하고 결과를 알려주는 모니터링부와 이 적외선 센서모듈은 평면과 이 평면에 삼각형 모양의 빗면이 평면의 양 폭과 직각으로 결합된 양 측면으로 구성된다. *기술적 배경 종래 제조과정에서는 공기나 불순물 등의 층간 혼입이나 내부 결함이 발생하게 되거나 절단 시 절단면 가장자리에서 결함이 생기는 경우가 종종 발생되며 이러한 결함은 화질에 결정적으로 나쁜 영향을 주기 때문에 일반적으로 전수 검사를 수행하게 된다. 지금까지 이러한 전수 검사는 숙련된 작업자에 의한 육안검사로 대부분 이루어지고 있어 인력과 검사 시간이 많이 소요되는 문제점을 가지고 있다. 또한, 작업자의 주관적인 판단에 따라 결함 유무를 판단함으로써 작업자에 많이 의존하게 되어 검사의 신뢰성을 저하 시키는 문제점을 가지고 있다.*중요성 및 독창성 본 기술은 위와 같은 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로, 결함 부위에서 적외선이 산란됨을 이용하여 제품의 결함 유무를 자동 검출함으로서 검사 인력과 시간을 줄일 수 있고, 객관적 판단 기준에 따라 결함 유무를 판단함으로써 검사의 신뢰성을 증대시키는는 박막 필름 결함 검출 장치라는 점에서 그 중요성과 독창성이 있다고 할 수 있다.*적용제품 및 경쟁제품 본 기술은 박막 트랜지스터 액정표시장치, 즉 TFT LCD를 사용하는 모든 제품에 적용될 수 있을 것이다. 초기에는 노트북에 한정되었으나 최근에는 컴퓨터 모니터, 텔레비젼 등의 제조공정에 적용될 것이고, 경쟁제품 역시 동일하다고 할 수 있다. *특징 및 장점 첫째, 레이져 라인빔의 결함 부위에서의 산란 특성을 이용하여 박막의 결함을 자동으로 검출함으로서 검출하는 작업 시간을 절약할 수 있어 작업의 효율성을 증대할 수 있다. 둘째, 객관적인 비교 자료에 의해서 결함 유무를 판정함으로써 검사에 대한 신뢰성을 향상시킬 수 있다.