일반기술

적층형 세라믹 액츄에이터의 제조방법

본 기술에 따른 적층형 세라믹 액츄에이터의 제조방법은, 다수의 박막 세라믹 테이프를 적층 성형하여 단위 세라믹 성형체를 제작하는 단계 단위 세라믹 성형체를 소정 형상의 지그 속에 상호 소정 간격으로다수개 배열 설치하는 단계 배열 설치된 다수의 단위 세라믹 성형체들 사이에 세라믹 슬러리 접착체를 주입하여 접착 및 건조시키는 단계 세라믹 슬러리 접착제에 의해 접착된 세라믹 적층 구조체를 가열 및 압착하는 단계 및 가열 및 압착 과정을 거친 세라믹 적층 구조체를 소정시간 동안 건조시킨 후, 동시 소성 공정을 수행하여 적층형 세라믹 액츄에이터의 제조를 완료하는 단계를 포함한다.이와 같은 본 기술에 의하면, 다수의 단위 세라믹 성형체들을 그 조성이 동일한 세라믹 슬러리를 사용하여 접합시켜 일체화하므로, 내부 전극의 뒤틀림이 없고, 각 층간의 두께 편차가 거의 없는 수백층의 적층 구조를 갖는 적층형 세라믹 액츄에이터의 제조가 가능하며, 내부 적층수를 수백층으로 증가시킴으로써 큰 변위를 발생시킬 수 있는 세라믹 액츄에이터의 제작이 가능하고, 그에 따라 그 응용성을 확대시킬 수 있으며, 간단한 지그를 이용하여 제조하므로 적층 공정의 난이도를 낮추고, 작업시간을 단축시킬 수 있다.본 기술은 적층형 세라믹 액츄에이터의 제조공정에 있어서의 적층 공정을 변형하여 여러 개의 단위 세라믹 액츄에이터 적층체를 일체화시킴으로써 내부 전극의 뒤틀림이 없고, 각 층간의 두께 편차가 거의 없는 수백층의 적층 구조를 갖는 적층형 세라믹 액츄에이터의 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.또한, 본 기술의 다른 목적은 적층형 세라믹 액츄에이터의 내부 적층수를 증가시켜 큰 변위를 발생시킬 수 있는 세라믹 액츄에이터의 제작을 가능하게 하여 그 응용성을 확대시키고, 적층 공정의 난이도를 낮추며, 작업시간을 단축시킬 수 있는 적층형 세라믹 액츄에이터의 제조방법을 제공함에 있다.