일반기술

플라즈마 멸균기

본 기술은 플라즈마 발생기의 전원 전극과 멸균 대상물 사이에서 플라즈마가 발생되는 것을 방지할 수 있는 과산화수소 플라즈마 멸균 시스템에 관한 것으로, 트레이에 놓인 멸균 대상물이 수용되는 멸균 챔버; 멸균 챔버로 과산화수소를 공급하기 위한 과산화수소 공급기; 멸균 챔버 내의 기체를 배기하도록 멸균 챔버와 배기관을 통해 연통하는 진공 펌프; 및 멸균 챔버 내에 플라즈마를 발생시키기 위한 것으로서, 멸균 챔버의 외부에 제공되는 전원과, 멸균 챔버의 내부에서 트레이 상의 멸균 대상물을 둘러싸도록 챔버 벽과 대향하게 배치되고 전원과 연결되는 전원 전극과, 멸균 챔버의 벽이 접지됨으로써 이루어지는 제 1 접지 전극과, 트레이 상의 멸균 대상물을 둘러싸도록 전원 전극과 트레이 사이에 배치되어 트레이와 전기적으로 접속되는 동시에 접지되는 제 2 접지 전극을 가지는 플라즈마 발생기를 포함한다트레이에 놓인 멸균 대상물이 수용되는 멸균 챔버; 상기 멸균 챔버로 과산화수소를 공급하기 위한 과산화수소 공급기; 상기 멸균 챔버 내의 기체를 배기하도록 상기 멸균 챔버와 배기관을 통해 연통하는 진공 펌프; 및 상기 멸균 챔버 내에 플라즈마를 발생시키기 위한 것으로서, 상기 멸균 챔버의 외부에 제공되는 전원과, 상기 멸균 챔버의 내부에서 트레이 상의 멸균 대상물을 둘러싸도록 상기 챔버 벽과 대향하게 배치되고 상기 전원과 연결되는 전원 전극과, 상기 멸균 챔버의 벽이 접지됨으로써 이루어지는 제 1 접지 전극과, 상기 트레이 상의 멸균 대상물을 둘러싸도록 상기 전원 전극과 상기 트레이 사이에 배치되어 상기 트레이와 전기적으로 접속되는 동시에 접지되는 제 2 접지 전극을 가지는 플라즈마 발생기를 포함하는 과산화수소 플라즈마 멸균 시스템.