일반기술

파괴인성 측정방법 및 그 장치

본 발명은 파괴인성 측정방법 및 측정장치를 개시한다. 본 발명은 주사전자현미경의 진공챔버내에 설치된 로딩 스테이지의 크로스 헤드에 시편을 로딩핀으로 고정시키는 단계와; 상기 주사전자현미경을 통해 시편을 직접 관찰하면서 모터를 구동시켜 상기 크로서 헤드를 상호 반대방향으로 이동시킴으로써 시편에 하중을 가하는 단계와; 상기 모터의 회전속도를 콘트롤러로 조정하는 단계와; 상기 로딩 스테이지의 로드셀로부터 측정된 측정값을 디스플레이어로 표시하는 단계와; 상기 디스플레이어에 표시된 하중값을 레코더로 기록하는 단계를 포함하는 파괴인성 측정방법 및 이를 실시하기에 적합한 측정장치를 제공함에 그 특징이 있다. 따라서 신뢰성 있는 파괴인성값을 얻을 수 있게 된다.; 이와 같은 본 발명은 시편의 크기가 작은 취성재로, 코팅층, 금속표면처리층, 금속/세라믹 계면부, 용접부등에 대한 파괴인성 측정에 효과적으로 응용할 수 있다. 주사전자현미경 챔버내에 설치되며, 시편의 양단이 각각 고정되는 한쌍의 크로스 헤드와, 상기 한쌍의 크로스 헤드중 일측 크로스 헤드에 설치되는 로드셀과, 회전운동을 직선운동으로 변환시켜 상기 한쌍의 크로스 헤드를 상호 반대방향으로 이동시키기 위한 기어박스를 구비하는 로딩 스테이지와; 상기 로딩 스테이지의 기어박스에 회전력을 전달하여 기어박스를 구동시키는 모터 및 감속기와; 상기 모터의 회전속도를 조정하는 콘트롤러와; 상기 로딩 스테이지의 로드셀로부터 측정된 측정값을 증폭하여 표시하는 디스플레이어와; 상기 디스플레이어에 표시된 측정값을 기록하는 레코더를 포함하는 것을 특징으로 하는 파괴인성 측정장치.