일반기술

진공챔버 제작방법

본 발명은 진공챔버 제작방법을 개시한다. 본 발명은, 진공로에서 스테인레스 강재의 챔버를 450℃에서 48~60시간 가열하여 스테인레스 강 내부의 수소를 제거함과 동시에 크롬을 표면으로 석출시키는 단계와, 진공로의 온도를 200℃로 낮추어 유지시킨 후 건조질소를 주입하여 진공로를 10~20분에 걸쳐 서서히 벤팅시키는 단계와, 상기 벤팅 상태를 24~48시간 유지시켜 챔버의 표면에 크롬산화막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서 표면에 형성된 치밀한 크롬 산화막에 의해 수소의 확산 및 투과가 현저히 억제되기 때문에 진공도가 10 -11 Torr 대 이하의 극고진공 영역으로 어렵지 않게 내려가게 되는 효과를 제공한다. 진공로에서 스테인레스 강재의 챔버를 450℃에서 48~60시간 가열하여 스테인레스 강 내부의 수소를 제거함과 동시에 크롬을 표면으로 석출시키는 단계와, 진공로의 온도를 200℃로 낮추어 유지시킨 후 건조질소를 주입하여 진공로를 10~20분에 걸쳐 서서히 벤팅시키는 단계와, 상기 벤팅 상태를 24~48시간 유지시켜 챔버의 표면에 크롬산화막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공챔버 제작방법.