일반기술

진공챔버의 벤팅방법 및 그 장치

본 발명은 진공챔버의 벤팅방법 및 그 장치를 개시한다. 본 발명은, 펌프로 장치를 배기하고 100℃에서 24시간 베이크하는 단계와, 상기 단계 종료 후 액체질소 두어내의 질소를 공급하고 100℃에서 10시간 베이크하는 과정을 3-5회 반복하여 장치를 세정하는 단계와, 상기 단계에서 주입된 질소를 배기하고 액체질소로 냉각부를 3-4시간동안 냉각시키는 단계를 포함하는 준비단계와; 상기 준비단계 종료 후 액체질소 두어내의 질소를 필터로 여과시킨 후 가열하는 단계와, 가열된 질소가스를 액체질소로 냉각시키고 질소가스내의 잔류 이물질 및 수분을 제거하는 단계와, 불순물 및 수분이 제거된 질소가스를 진공챔버로 10-20분에 걸쳐 서서히 주입하는 단계를 포함하는 실행단계를; 포함하는 진공챔버의 벤팅방법 및 그 장치를 제공하는데 그 특징이 있다. 따라서 배기시작 1시간 내에 10 -10 Torr 대에, 6시간 대에 10 -11 Torr 대에 들어가는 진공도를 얻을 수 있으므로, 초급속 배기가 가능하여 진공시스템의 가동율 및 생산성이 향상되게 된다. 액체질소 두어와, 상기 액체질소 두어에서 나와 기화된 질소가스내의 불순물을 여과시키는 필터와, 상기 필터에 의해 여과된 질소가스를 가열하는 가열부와, 상기 가열부에 의해 가열된 질소가스를 냉각시키고 질소가스내의 잔류 불순물 및 수분을 제거하는 냉각부와, 상기 냉각부를 거쳐 진공챔버로 주입되는 질소가스의 유량을 조절하는 바늘밸브를 포함하는 진공챔버의 벤팅장치.