일반기술

고분자, 금속 및 세라믹 박막의 잔류 스브레스 측정 장치 및 그 측정 방법

본 발명은 고분자,금속 및 세라믹박막의 잔류스트레스 측정장치 및 그 측정방법에 관한 것이다.; 본 발명의 고분자,금속 및 세라믹박막의 잔류스트레스 측정장치 및 그 측정방법은 레이저장치와 위치감지측정기를 사용하여 층간의 물성차에 의한 2층 또는 다층구조의 휘어짐정도를 측정함으로써, 구조의 해체 및 박막의 파괴없이도 잔류스트레스를 극히 용이하게 측정할 수 있는 것이다. 레이저빔을 발생시키는 레이저장치(11); 상기 레이저장치(11)에서 발생된 레이저빔을 기질(1)상의 필름(2)과 거울(13)로 각각 스플릿팅시키는 빔스플릿터(Beam Splitter)(12); 상기 빔스플릿터(12)로부터의 레이저빔을 기질(1)상의 필름(2)으로 조사시키는 거울(13); RS232 직렬포트(17)를 통해서 주제어컴퓨터(30)간에 데이타통신을 수행하면서 고체상태릴레이(SSR)(14)와 온도감지기(15)를 제어하는 온도조절장치(16); 상기 필름(2)이 놓인 기질(1)을 통한 레이저빔의 세기를 감지하는 위치감지 측정기(21); 상기 위치감지측정기(21)에서 감지된 미약한 신호를 소정레벨로 증폭하는 전류증폭기(22); 상기 전류증폭기(22)에서 증폭된 신호를 컴퓨터에서 처리가능한 신호로 변환하는 A/D변환기(23); 상기 전체장치를 총괄제어하면서 온도조절기능과 데이타를 측정하여 분석하는 주제어 컴퓨터(30)를 구비함을 특징으로하는 고분자,금속 및 세라믹박막의 잔류스트레스 측정장치.