일반기술

프리즘 커플러 장치 및 제어 방법

본 발명은 유기물 또는 무기물을 박막형태로 만들었을 경우, 박막의 굴절율 및 두께를 레이져빔 및 광학부품(Optical Part)을 이용하여 비파괴적으로 측정하는 프리즘커플러(Prism Coupler) 장치 및 제어방법에 관한 것이다.; 따라서, 본 발명은 박막의 두께가 1㎛이하에서 측정이 가능한 일립소미터 (ellipsometer)와 보완적으로 1㎛이하에서 부터 15㎛까지의 범위에서 두께와 굴절율을 측정가능하고, 굴절율만 측정한다면 수 mm이상의 두께를 갖는 박막의 굴절율도 측정가능한 장치를 제작하였다. 측정과정이 간단하고 시편의 조건이 까다롭지 않아 다양한 분야에 이용될 것으로 전망되는 효과를 가진다. 주로 파장이 632.8nm인 헬륨-네온 레이저빔을 투사하는 입사광원(20); 상기 광원(20)의 편광상태를 TE모드 또는 TM모드로 만들어 주기 위한 편광기(21); 입사각의 영점 지정을 위하여 상기 편광기(21)와 프리즘(10) 사이에 설치되는 빔스프리터(22) 및 조리개(23); 입사각에 변화를 주기 위해 구동되는 로타리 스테이지(26); 마이크로스텝모터를 구동하는 콘트롤러(27); 컴퓨터(29)와 상시 콘트롤러(27)과의 통신수단인 입출력 인터페이스(28); 전체동작을 제어하는 컴퓨터(29); 및 상기 빔스프리터(22)에 연결된 검출기(25')와 상기 컴퓨터(29) 사이에 개재되는 ADC보드; 를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 프리즘커플러 장치.