일반기술

감광성 폴리이미드 전구체 및 그 제조 방법

본 발명은 감광성 폴리이미드 전구체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 상기 감광성 폴리이미드 전구체는 화학식 1로 표시된다.; [화학식 1] [IMAGE 1] ; 상기식중, R 1 은 CH 2 =C(R 4 )-COO(CH 2 ) K -이고(여기에서, R 4 는 수소 또는 알킬기이고, k는 1 내지 10의 수임), R 2 는 하기 구조식으로 표시되고, ; [IMAGE 2] ; 상기식중, Y 1 , Y 2 , Y 3 , Y 4 , Y 5 , Y 6 , Y 7 및 Y 8 은 서로에 관계없이 수소, (CH 2 ) m -(CF 2 ) l -CH 2 F, (CH 2 ) m -(CF 2 ) l -CHF 2 또는 (CH 2 ) m -(CF 2 ) l -CF 3 이고(단, m은 0 내지 1의 수이고, l은 0 내지 10의 수임), R 3 은 탄소수 1 내지 20의 지방족 탄화수소기 또는 탄소수 6 내지 30의 방향족 탄화수소이고, x/(x+y)=0.1∼1.0이다. 본 발명에 따른 감광성 폴리이미드 전구체는 종래의 폴리이미드 전구체에 비하여 감도가 개선될 뿐만 아니라, 이미드화 과정 전후로 수축율이 감소된다. 본 발명의 폴리이미드 전구체로부터 형성된 폴리이미드 절연막은 종래의 경우에 비하여 분해능 및 내구성이 개선될 뿐만 아니라, 유전상수, 열팽창계수 및 잔류응력이 낮고, 기계적 성질을 비롯한 물리적 특성이 우수하다. 화학식 1로 표시되는 감광성 폴리이미드 전구체: <화학식 1> [IMAGE 14] 상기식중, R 1 은 CH 2 =C(R 4 )-COO(CH 2 ) K -이고(여기에서, R 4 는 수소 또는 알킬기이고, k는 1 내지 10 수임), R 2 는 하기 구조식으로 표시되고, [IMAGE 15] 상기식중, Y 1 , Y 2 , Y 3 , Y 4 , Y 5 , Y 6 , Y 7 및 Y 8 은 서로에 관계없이 수소, (CH 2 ) m -(CF 2 ) l -CH 2 F, (CH 2 ) m -(CF 2 ) l -CHF 2 또는 (CH 2 ) m -(CF 2 ) l -CF 3 이고(단, m은 0 내지 1의 수이고, l은 0 내지 10의 수임), R 3 은 탄소수 1 내지 20의 지방족 탄화수소기 또는 탄소수 6 내지 30의 방향족 탄화수소이고, x/(x+y)=0.1∼1.0이다.