일반기술

광양자테 레이저 다이오우드와 그 어레이 및 제조방법

본 발명은 광양자테 레이저 다이오우드(photonic quantum ring: PQR)에 관한 것으로, 수평면으로 뻗은 다수 층이 수직 방향을 따라 교대로 적층되어, n 형 다중층 분산형 브랙 반사기(distributed Bragg reflector: DBR)와 p 형 다중층 DBR 사이에 끼워진 활성 영역의 테두리를 따라 수직축 방향에 대한 경사각의 함수로 표현되는 일정한 범위의 다양한 파장의 빛이 발진되며, 상기 발진된 빛이 투과되도록 피복층이 상기 활성층을 둘러싸고, 상기 활성 영역에서 3차원 발진된 빛이 보여지고 감지될 수 있도록 스트립형(striped) 또는 분리형 상부 전극을 상부 다중충 DBR의 상단부에 침착함으로써, 수 μA의 문턱전류로 동작하고, 스펙트럼의 파장 피크가 온도에 대해 T 1/2 의존성을 가지며, 문턱전류가 직경의 제곱에 비례하는 광양자테 레이저 다이오우드의 특성을 이용한 대용량의 고집적 반도체 레이저 다이오우드를 제작할 수 있다. 수평면을 따라 형성된 다수 개의 층이 수직으로 적층되는 광양자테(photonic quantum ring : PQR) 레이저 다이오우드에 있어서, n 형 다중층 분산형 브랙 반사기(distributed Bragg reflector: DBR)와 p 형 다중층 DBR 사이에 끼워져서, 수직축 방향에 대한 경사각의 함수로 표현되는 일정한 범위 내의 다수 개의 파장을 갖는 빛을 그 테두리를 따라 발진시키는 활성 영역; 보다 큰 굴절률을 갖고 상기 활성 영역을 둘러싸면서 발진된 빛을 투과시키되, 상기 빛은 등평면 환형 레일리 구속 조건(in-plane annular Rayleigh confinement)에 의해 구속되는 피복층; 수직 공동 표면 방출형 레이저(vertical cavity surface emiting laser: VCSEL)의 서로 연결된 고리형 상부 전극과는 달리, 상기 활성 영역에서 3차원 발진이 보여지고 감지될 수 있도록 형성된 스트립형(striped) 또는 분리형 상부 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 광양자테 레이저 다이오우드.