일반기술

가열용 탄소 재료 및 그의 재료에 등방성 열분해 탄소 박막을 형성하는 방법

본 발명은 수용 또는 지지되는 가열대상 물질의 오염을 감소시키고 향상된 내구성을 가지며, 탄소지그, 탄소보트, 탄소서셉터 등으로 이용되는, 표면에 등방성 열분해 탄소 박막이 형성된 가열용 탄소 재료에 관한 것이다. 또한, 가열용 탄소재료에 등방성 열분해 탄소박막을 형성하는 방법은 가열용 탄소재료를 파티클과 함께 반응관내에 장입하는 단계와 상기 반응관을 탄소 소오스 가스의 열분해 반응을 일으킬 수 있는 온도까지 가열하는 단계와 상기 반응관을 회전시키면서 상기 반응관내에 탄소 소오스 가스를 운반가스와 함께 유입시켜서, 상기 탄소 재료에 열분해 탄소를 증착시키는 단계를 포함함을 특징으로 하는, 가열용 탄소 재료에 등방성 열분해 박막을 형성하는 방법을 포함한다. 가열용 탄소재료를 파티클과 함께 반응관내에 장입하는 단계와; 상기 반응관을 탄소 소오스 가스의 열분해 반응을 일으킬 수 있는 온도까지 가열하는 단계와; 상기 반응관을 회전시키면서 상기 반응관내에 탄소 소오스 가스를 운반가스와 함께 유입시켜서, 상기 탄소재료에 열분해 탄소를 증착시키는 단계를 포함함을 특징으로 하는, 가열용 탄소재료에 등방성 열분해 박막을 형성하는 방법.