일반기술

(바륨,스트론튬) 삼산화티탄 박막의 제조방법

본 발명은 유기금속 화학 증착법을 이용한 (Ba, Sr)TiO 3 박막의 제조방법에 관한 것으로, 알콜 용매에 하기 화학식 1의 바륨 화합물, 화학식 2의 스트론튬 화합물 및 화학식 3의 티탄 화합물을 용해시켜 얻은 용액을 전구체로 사용하는 것을 특징으로 하는 본 발명의 방법에 따르면 분자간의 뭉침현상이 없을 뿐만 아니라 탄소의 함량이 저하된 (Ba, Sr)TiO 3 형 박막을 수득할 수 있다. ; [화학식 1] [IMAGE 1] ; [화학식 2] [IMAGE 2] ; [화학식 3] [IMAGE 3] 유기금속 화학 증착법을 이용하여 (Ba, Sr)TiO 3 형 박막을 제조하는데 있어서, 하기 화학식 1의 바륨 화합물, 하기 화학식 2의 스트론튬 화합물 및 하기 화학식 3의 티탄 화합물을 1-x:x:1+y(0≤x≤1, y≥0)의 몰비로 알콜 용매에 용해시킨 후, 이 전구체 용액을 240 내지 280℃의 온도에서 기화시키고, 생성된 전구체 기체를 산화 기체와 함께 300 내지 650℃의 온도로 가열된 기재와 접촉시키는 것을 특징으로 하는, (바륨, 스트론튬)삼산화티탄 박막의 제조방법. 화학식 1 [IMAGE 7] 화학식 2 [IMAGE 8] 화학식 3 [IMAGE 9]