일반기술

멤스(MEMS)기술을 이용한 경사각 감지센서 제조 방법

본 발명은 멤스(MEMS) 기술을 이용한 경사각 감지센서 제조 방법에 관한 것으로, 유리기판 위에 크롬웰 전극을 수직 이륙(lift-off)으로 공정하고, 리가(LIGA) 공정을 이용하여 피엠엠에이(PMMA(polymethylmethacrylate)) 감광재로 둥근 채널로 형성한다. 이후, 크롬웰(Chromel) 전극이 수직 이륙된 유리기판과, 둥근 채널로 형성된 PMMA를 조립한 후, 둥근 채널 속에 수은방울을 넣고, 크롬웰 전극 유리기판을 접합한다. 이후, 수은이 중력의 영향으로 PMMA 채널을 따라 바닥으로 내려가면서, 변화되는 크롬웰 전극의 저항치의 변화량을 이용해 경사진 곳의 기울기를 측정한다. 따라서, 각도 센서에 의하면, 큰 각에서부터 작은 각까지 광범위한 측정범위가 되고, 센서의 크기가 작으므로 그 적용이 용이하다는 효과가 있다. 경사각을 측정하는 제조 방법에 있어서, 유리기판 상에 크롬웰 전극을 수직 이륙(lift-off)으로 공정하는 단계; LIAG 공정을 이용하여 피엠엠에이(PMMA)를 둥근 채널로 형성하도록 공정하는 단계; 상기 크롬웰 전극에 의해 수직 이륙된 유리기판과 상기 둥근 채널로 형성된 피엠엠에이(PMMA)를 조립한 후, 상기 둥근 채널 속에 수은을 넣고, 상기 크롬웰 전극 유리기판을 접합하는 단계; 상기 수은이 중력의 영향으로 중심에서 바닥으로 채널을 따라 내려가면서 경사진 곳의 기울기를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 멤스(MEMS) 기술을 이용한 경사각 감지센서 제조 방법.