일반기술

펠티어 검침을 이용한 시료 표면의 열특성 측정 및 열성형 장치

본 발명은 주사형 열현미경(scanning thermal microscope)의 검침으로, 열원인 동시에 온도 센서인 펠티어 검침(Peltier tip)을 이용한 시료 표면의 열특성 측정 장치 및 열성형(thermomechanical modification) 장치에 관한 것이다.; 본 발명에 의하면 브리지 회로내에 구성된 서로 다른 전도선의 접합점을 열원인 동시에 온도 센서로 주사형 열현미경의 검침으로 사용하며, 접합점에서만 발생되는 열교환 특성을 이용하여 시료 표면의 열특성을 나노미터 단위의 공간 해상도와 민감도로 측정할 수 있고, 열성형시에 펠티어 검침에서 가열, 냉각이 동시에 가능하므로 높은 공간 해상도의 열성형과 열성형 속도의 향상을 기대할 수 있어 나노기록매체(nano-storage media)에 응용될 수 있다. 시료 표면의 열특성을 측정하는 장치에 있어서, 열특성 측정을 위한 소정의 열 발생 패턴 신호를 발생시키기 위한 신호 발생기; 상기 신호 발생기에 연결되어, 전류를 측정하기 위한 전류계; 상기 전류계에 연결된 전도도가 상이한 전도선의 접합으로 이루어지고, 상기 전도선의 접합 부분은 펠티어 검침 형태로 구성된 브리지 회로; 및 상기 브리지 회로의 대칭점의 양 단자에 연결되어, 상기 펠티어 검침에 의하여 검출되는 신호의 온도 진동에 의한 전압을 증폭하여 검출하기 위한 고정 주파수 증폭기를 포함함을 특징으로 하는 펠티어 검침을 이용한 시료 표면의 열특성 측정 장치.