일반기술

솔 코팅법에 의한 란탄 함유 티탄산 비스무스 박막의 경제적인 제조 방법

본 발명은 솔(sol) 코팅법을 이용한 란탄 함유 티탄산 비스무스 박막의 형성방법에 관한 것으로, 본 발명에 따라 란탄, 비스무스 및 티탄을 각각 함유하는 유기 또는 무기 염들을 용제에 용해시켜 Bi:La:Ti가 3.33 내지 3.9 : 0.55 내지 1.05 : 3 범위의 몰비로 혼합된 솔(sol)을 형성하고, 이 솔을 기재 상에 코팅한 후 건조 및 열처리 산화시켜 균일한 결정 성장방향에 따른 균일한 강유전 특성과 피로현상에 대한 내구성이 우수한 Bi 4-x La x Ti 3 O 12 (x=0.55 ∼ 1.05) 박막을 경제적으로 대량 생산할 수 있다. 란탄 염, 비스무스 염 및 티탄 염을 산성수 또는 알콜성 유기용매 또는 이들의 혼합용매에 용해시켜 Bi:La:Ti가 0.33 내지 3.9 : 0.55 내지 1.05 : 3 범위의 몰비로 혼합된 솔(sol)을 형성하고, 이 솔을 기재 상에 코팅한 후 건조 및 열처리산화시켜 하기 화학식 1의 조성을 가진 박막을 제조하는 방법: [화학식 1] 상기 식에서, x는 0.55 내지 1.05 범위의 수이다.