일반기술

탄소 나노튜브 합성방법 및 이에 이용되는 탄소 나노튜브 합성장치

탄소 나노튜브(carbon nanotubes) 합성 방법 및 이에 이용되는 탄소 나노튜브 합성 장치를 개시한다. 본 발명의 일 관점은, 촉매를 반응기 내에 도입하고, 마이크로웨이브 방사(microwave irradiation)에 의한 가열 또는 전자기 유도 가열(inductive heating), RF 가열 또는 레이저(laser)를 이용한 가열법 등을 이용하여 반응기 내의 촉매를 선택적으로 국부적 가열하며, 촉매 상에 탄소 소오스(carbon source) 가스, 또는 탄소 소오스 가스와 황화 수소 가스, 탄소 소오스 가스와 수소가스 또는 불활성 가스 등을 함께 제공하여, 국부 가열된 촉매 상으로부터 탄소 나노튜브를 성장하는 탄소 나노튜브 합성 방법을 제공한다. 그리고, 이에 이용되는 탄소 나노튜브 합성 장치를 제공한다. 철, 니켈 또는 코발트의 전이 금속으로 이루어지거나, 상기 전이 금속의 금속 황화물, 금속 탄화물, 금속 산화물, 금속염, 또는 상기 전이 금속을 함유한 유기 화합물로 이루어지는 촉매를 반응기 내에 도입하는 단계; 상기 촉매 상에 아세틸렌, 메탄, 프로판 및 벤젠 등으로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나의 탄화 수소 가스를 포함하는 탄소 소오스 가스를 포함하는 반응 가스를 제공하는 단계 ; 상기 반응기 내의 촉매를 마이크로웨이브 방사로 선택적으로 가열하는 국부적 가열 단계; 및 상기 가열된 촉매 상으로부터 탄소 나노튜브를 성장하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소 나노튜브 합성 방법.