일반기술

실리콘 단결정의 내부 미시적 결점 최소화를 위한 최적 표면 온도 분포 예측 및 제어 방법

본 발명은 실리콘 단결정의 생산공정에서 미시적 결점을 최소화하는 품질 개선을 위한 실리콘 단결정의 최적의 표면 온도 분포를 구하는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 기존의 모델 식을 이용하는 것은 동일하나 최적화 기법인 변분법과 품질 최적화를 수학적으로 표현한 목적함수를 구성하여 오일러-라그랑지 방정식을 구하며 이를 유한차분법으로 수치해석하여 본 발명이 구하고자 하는 최적 품질을 위한 실리콘 단결정의 표면 온도 분포를 구한다. 본 발명의 방법은 실리콘 단결정 제조의 다양한 조업 조건에 대하여 모두 적용가능 하며 구해진 최적 표면 온도 분포 조건을 이용하여 실리콘 단결정 제조 공정의 열적 환경을 제어하는 것이 가능하다. (1) 실리콘 단결정의 미시적 결점을 최소화하는 목적 함수를 구성하고, (2) 구성된 목적함수와 모델 식 및 변분법을 이용하여 오일러-라그랑지 방정식을 구성하고, (3) 오일러-라그랑지 방정식을 수치해석적으로 계산하여 실리콘 단결정의 미시적 결점을 최소화하는 최적 표면 온도 분포를 구하고, (4) 구해진 최적의 온도 분포로부터 실리콘 단결정 생산 공정의 열적 환경을 결정하는 것을 포함하는, 실리콘 단결정 내부의 미시적 결점을 최소화하기 위한 최적의 표면 온도 분포 예측 및 제어 방법.