일반기술

저에너지 전자빔을 이용하는 고정밀 패턴 형성방법

본 발명은 기질상에 고정밀 패턴을 형성하는 방법에 관한 것으로서, 구체적으로는 저에너지 전자빔을 사용하여 자기조립 단분자층에 고정밀 패턴을 형성하는 방법에 관한 것이다.; 본 발명에서는 아미노 화합물의 분자층이 형성되어 있는 기질 상에 존재하는 아민기를 선택적으로 구조 변환시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 고정밀 패턴 형성 방법을 제공한다.; 본 발명에 따르면, 기질 표면에 친수성과 소수성으로 구별되는 고정밀 나노패턴을 단시간 내에 원하는 모양으로 형성할 수 있고, 반도체 재료분야 및 고집적 바이오 칩을 개발하는 데 유용하다. 5000 eV 이하의 에너지 준위를 갖는 저에너지 전자빔 및 광마스크를 사용하여, 아미노 화합물의 분자층이 형성되어 있는 기질 상에 존재하는 아민기를 선택적으로 구조 변환시키는 단계를 포함하며, 상기 아미노 화합물이 하기 화학식 1의 아미노실란 화합물 또는 하기 화학식 2의 아미노티올 화합물인 것을 특징으로 하는 고정밀 패턴 형성 방법. <화학식 1> [IMAGE 3] (식중, R 1 , R 2 및 R 3 는 각각 독립적으로 수소, 할로겐 원소, 탄소원자수 1 내지 4의 저급 알콕시 또는 탄소원자수 1 내지 4의 저급 알킬기를 나타내고, n은 0 내지 20의 정수이다.) <화학식 2> [IMAGE 4] (식중, n은 0 내지 20의 정수이다.)