일반기술

저에너지 전자빔을 이용하는 고정밀 패턴 형성방법

본 발명은 고정밀 패턴을 형성하는 방법에 관한 것으로서, 저에너지 전자빔을 사용하여 방향족 이민 단분자층에 단시간 내에 고정밀, 즉 마이크로 또는 나노미터 수준의 패턴을 형성하는 방법에 관한 것이다.; 본 발명은 치환 또는 비치환된 말단 고리를 갖는 방향족 이민 분자층을 기질 상에 형성하고, 상기 방향족 이민 분자층의 이민 결합을 선택적으로 구조 변환시키며, 이민 결합이 선택적으로 구조 변환된 상기 방향족 이민 분자층을 가수분해하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법을 제공한다.; 본 발명에 따르면, 기질 표면에 친수성과 소수성으로 구별되는 고정밀 나노패턴을 단시간 내에 원하는 모양으로 형성할 수 있고, 반도체 재료분야 및 고집적 바이오 칩을 개발하는 데 유용하다. 알킬기, 알콕시기, 또는 아릴기로 치환되었거나 또는 비치환된 말단 방향족 고리를 갖는 방향족 이민 분자층을 기질 상에 형성하는 단계; 저에너지 전자빔을 조사하여 상기 방향족 이민 분자층의 이민 결합을 선택적으로 구조 변환시키는 단계; 및 상기 이민 결합이 선택적으로 구조 변환된 상기 방향족 이민 분자층을 가수분해하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.