일반기술

란타늄 착체 및 이를 이용한 비엘티 박막의 제조방법

본 발명은 La 착체 및 이를 이용한 BLT(Bi 4-x La x Ti 3 O 12 (0<x<4)) 박막의 제조방법에 관한 것으로서, 증착 특성이 우수하고 용해도가 뛰어난 하기 화학식 1의 구조를 갖는 La 착체, 및 하기 화학식 2의 Ti 전구체, 및 알킬계 Bi 전구체를 포함하는 증기를 250 내지 450℃로 가열된 기판에 접촉시키는 본 발명의 방법에 의하면, BLT 박막을 온화한 조건 하에서 용이하게 제조할 수 있다.; ; [화학식 1] [IMAGE 1] ; [화학식 2] [IMAGE 2] ; 상기 식에서, A는 펜타메틸디에틸렌트리아민(PMDT) 또는 트리에톡시트리에틸렌아민(TETEA)이고, m은 2 내지 5의 정수이다.전구체로서의 하기 화학식 1의 구조를 갖는 La 착체, 하기 화학식 2의 Ti 전구체 및 알킬계 Bi 전구체를 포함하는 증기를 250 내지 450℃로 가열된 기판에 접촉시키는 것을 포함하는, 유기금속 화학증착법에 의한 BLT(Bi4-xLaxTi3O12(0<x<4)) 박막의 제조방법: 화학식 1 [IMAGE 6] 화학식 2 [IMAGE 7] 상기 식에서, A는 펜타메틸디에틸렌트리아민(PMDT) 또는 트리에톡시트리에틸렌아민(TETEA)이며, m은 2 내지 5의 정수이다.