일반기술

유기금속 화학증착법에 의한 피젯티 박막의 제조방법

본 발명은 유기금속 화학증착법에 의한 PZT(lead zirconate titanate) 박막의 제조방법에 관한 것으로서, 하기 화학식 1의 구조를 갖는 Ti 전구체 및 Zr 전구체, 및 Pb 전구체를 포함하는 증기를 300 내지 550℃로 가열된 기판에 접촉시키는 본 발명의 방법에 의하면, 원하는 조성의 PZT 박막을 저온에서 용이하게 제조할 수 있다.; [화학식 1] [IMAGE 1] ; 상기 식에서, M은 Ti 또는 Zr이고, m은 2 내지 5의 정수이다. 하기 화학식 1의 구조를 갖는 Ti 전구체 및 Zr 전구체, 및 Pb 전구체를 포함하는 증기를 300 내지 550℃로 가열된 기판에 접촉시키는 것을 포함하는, 유기금속 화학증착법에 의한 PZT(lead zirconate titanate) 박막의 제조방법: 화학식 1 [IMAGE 5] 상기 식에서, M은 Ti 또는 Zr이고, m은 2 내지 5의 정수이다.