일반기술

고종횡비 팁을 갖는 압전 캔티레버 및 그 제조방법

본 발명은 고종횡비 팁을 갖는 압전 캔티레버 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 캔티레버의 팁이 낮을 경우 빔 자체 또는 빔이 갖는 전압이 미디어에 영향을 미치는 것을 막기 위한 고종횡비의 팁을 제조함에 있어서, 캔티레버의 팁과 지지부 상부에 응력 보정막을 추가하여 다층의 캔티레버 막을 형성함으로써 캔티레버 자체의 내부 응력을 보정하여 캔티레버가 휘어지는 것을 막을 수 있다. 또한 본 발명은 광투과 케이스를 지지부에 연결된 접합용 패턴에 접합시키기 때문에 양극 접합을 이용한 캔티레버의 접합시 상/하부 전극과 케이스가 분리되어 케이스에 인가된 전압이 직접적으로 상/하부 전극에 전달되지 않게 된다. 이로 인해, 상/하부 전극 및 압전물질에 고전압이 걸리는 위험을 막을 수 있고 상부 전극의 표면 산화 현상을 방지할 수 있다. 압전 캔티레버에 있어서, 상기 캔티레버의 고종횡비 팁; 상기 팁에 수직으로 연결된 지지부; 상기 팁과 지지부 상부에 형성된 적어도 1층 이상의 응력 보정막; 상기 지지부 및 응력 보정막이 오픈된 캔티레버의 오픈 영역; 상기 응력 보정막 상부에 순차적으로 형성된 하부 전극, 압전물질층 및 상부 전극; 상기 지지부의 외곽 상부에서 전체 구조물을 덮되, 상기 캔티레버의 와이어가 연결될 부분이 오픈된 광투과 케이스; 상기 광투과 케이스의 오픈된 부분을 통해 상기 하부 전극 및 상부 전극에 각각 연결된 와이어를 구비하는 것을 특징으로 고종횡비 팁을 갖는 압전 캔티레버.