일반기술

금속 착체 및 이를 이용한 금속 나노점의 제조방법

본 발명은 금속 착체 및 이를 이용한 금속 나노점의 제조방법에 관한 것으로서, 기화특성이 우수한 하기 화학식 1의 구조를 갖는 금속 착체의 증기를 기판에 접촉시키는 본 발명의 방법에 의하면, 목적하는 크기 및 밀도의 금속 나노점을 용이하게 증착시킬 수 있다.; [화학식 1] ; 상기 식에서,; L 1 은 [CH 2 =CH-Si(CH 3 ) 2 ] 2 -O 또는 [CH 2 =CH-R-Si(CH 3 ) 2 ] 2 -O이고(이때, R은 C 1-8 의 알케닐기이다);; M은 Cu, Ni, Fe, Co, Ir, Ru 등의 금속이고;; L 2 및 L 3 은 각각 독립적으로, β-디케토네이트, 알콕시드, 아민계 화합물 등의, M과 결합할 수 있는 리간드이고;; n은 1 내지 5의 정수로서, 상기 M의 결합수에 따라 달라진다. 하기 화학식 1의 구조를 갖는 금속 착체: 화학식 1 (L 2 ) n -M-L 1 -M-(L 3 ) n 상기 식에서, L 1 은 [CH 2 =CH-Si(CH 3 ) 2 ] 2 -O 또는 [CH 2 =CH-R-Si(CH 3 ) 2 ] 2 -O이고(이때, R은 C 1-8 의 알케닐기이다); M은 금속이고; L 2 및 L 3 은 각각 독립적으로 M과 결합할 수 있는 리간드이고; n은 1 내지 5의 정수로서, 상기 M의 결합수에 따라 달라진다.