일반기술

유기금속 화학증착법에 의한 PZT 박막의 제조방법

본 발명은 유기금속 화학증착법을 이용한 PZT(lead zirconate titanate) 박막의 제조방법에 관한 것으로, 하기 화학식 1로 표시되는 Pb(methd) 2 , 하기 화학식 2로 표시되는 Zr(methd) 4 및 하기 화학식 3으로 표시되는 Ti(mpd)(methd) 2 를 포함하는 단일의 혼합 전구체 용액을 기화시킨 후 360 내지 560℃의 온도 범위에서 기재에 증착시키는 것을 포함하는 본 발명의 방법에 의하면, 요구되는 조성을 가지는 PZT 박막을 용이하게 제조할 수 있다:; ; [화학식 1] [IMAGE 1] ; [화학식 2] [IMAGE 2] ; [화학식 3] [IMAGE 3] 하기 화학식 1로 표시되는 Pb(methd) 2 , 하기 화학식 2로 표시되는 Zr(methd) 4 및 하기 화학식 3으로 표시되는 Ti(mpd)(methd) 2 를 포함하는 단일의 혼합 전구체 용액을 기화시킨 후 360 내지 560℃의 온도 범위에서 기재에 증착시키는 것을 포함하는, PZT(lead zirconate titanate) 박막의 제조방법: 화학식 1 [IMAGE 7] 화학식 2 [IMAGE 8] 화학식 3 [IMAGE 9]