일반기술

정전력을 이용한 초소형 그리퍼

본 발명은 작은 물체를 이동 및 조립 할 수 있는 초소형 그리퍼(micro gripper)에 관한 것으로서, 특히 정전력을 이용한 초소형 그리퍼에 관한 것이다.; 이를 위한 본 발명은, 대상물체를 정전기력으로 고정하기 위하여 동일 기판위에서 제조된 외부전극 및 내부전극과; 상기 내부전극의 움직임이 가능하도록 상기 기판과 연결되어 상기 내부전극을 지지하는 적어도 하나 이상의 탄성지지체와; 상기 내부 전극을 상기 대상 물체로부터 소정 거리 이동시켜 상기 대상 물체를 원하는 위치에 놓기 위하여 상기 기판에 상기 외부전극 및 내부전극과 같이 형성된 초소형 액츄에이터를 포함하여 된 것을 특징으로 한다. ; 이로써, 본 발명은 상기 내부전극, 외부전극, 탄성지지체 및 초소형 액츄에이터를 초소형기계가공기술을 이용하여 일괄공정에 의하여 대량생산 할 수 있으며, 정전형 그리퍼의 소형화, 대량생산으로 인한 가격절감, 배열배치를 통한 작업속도 향상 등을 할 수 있으므로 초소형 그리퍼 어셈블리의 가격절감 등의 이점을 제공한다. 정전력을 이용한 초소형 그리퍼에 있어서, 대상물체를 정전기력으로 고정하기 위하여 동일 기판위에서 제조된 외부전극 및 내부전극; 상기 내부전극의 움직임이 가능하도록 상기 기판과 연결되어 상기 내부전극을 지지하는 적어도 하나 이상의 탄성지지체; 상기 내부 전극을 상기 대상물체로부터 소정 거리 이동시켜 상기 대상 물체를 원하는 위치에 놓기 위하여 상기 기판에 상기 외부전극 및 내부전극과 같이 형성된 초소형 액츄에이터;를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 정전력을 이용한 초소형 그리퍼.