일반기술

MEMS 공정을 이용한 고효율 보일링 표면 및 그 제조방법

본 발명은 유리기판 상에 MEMS 공정기술을 이용하여 고효율의 보일링 표면 및 그 제작방법을 개시한 것으로, 유리기판 위에 제 1 금속 박막을 소정 두께로 증착하는 공정과, 증착된 제 1 금속 박막을 포토-리소그라피 공정을 통해 열선과 패드를 형성하는 공정과, 열선 위에 제 1 음성 감광재를 소정 두께로 도포하고 노광하여 제 1 캐비티 구조물을 형성하는 공정과, 제 1 캐비티 구조물 위에 제 2 금속 박막을 소정 두께로 증착하는 공정과, 제 2 금속 박막 위에 제 2 음성 감광재를 소정 두께로 도포하고 패터닝하여 제 2 캐비티 구조물을 형성하는 공정과, 드러난 제 2 금속 박막을 식각하는 공정과, 제 2 금속 박막의 식각을 통해 드러난 부분을 통해 제 1 음성 감광재를 현상하여 제거하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다. 유리기판 위에 제 1 금속 박막을 소정 두께로 증착하는 공정과, 증착된 제 1 금속 박막을 포토-리소그라피 공정을 통해 열선과 패드를 형성하는 공정과, 열선 위에 제 1 음성 감광재를 소정 두께로 도포하고 노광하여 제 1 캐비티 구조물을 형성하는 공정과, 제 1 캐비티 구조물 위에 제 2 금속 박막을 소정 두께로 증착하는 공정과, 제 2 금속 박막 위에 제 2 음성 감광재를 소정 두께로 도포하고 패터닝하여 제 2 캐비티 구조물을 형성하는 공정과, 드러난 제 2 금속 박막을 식각하는 공정과, 제 2 금속 박막의 식각을 통해 드러난 부분을 통해 제 1 음성 감광재를 현상하여 제거하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS 공정을 이용한 고효율 보일링 표면 제조방법.