일반기술

일체형 3극구조 전계방출 디스플레이 및 그 제조방법

본 발명에서는, 복잡한 패키징 공정을 거치지 않고 제조될 수 있으며, 더욱 감소된 웰의 직경과 더욱 감소된 캐소드와 애노드 사이의 간격을 갖는, 일체형 3극 구조 FED를 제공한다. 또한, 본 발명에서는 양극산화법을 포함하는, 일체형 3극구조 FED 제조방법을 제공한다. 본 발명의 일체형 3극구조 FED는 애노드 절연층을 매개체로 하여 전면패널과 배면패널이 한 몸체를 형성한다. 기판; 상기 기판 위에 위치하는 캐소드층; 상기 캐소드층 위에 위치하며, 규칙적인 패턴으로 배열된 다수의 미세홀을 갖는 게이트 절연층; 상기 게이트 절연층 위에 위치하며, 상기 게이트 절연층의 미세홀 패턴과 실질적으로 일치하는 패턴으로 배열된 다수의 미세홀을 갖는 게이트 전극층; 상기 게이트 전극층 위에 위치하며, 상기 게이트 절연층의 미세홀 패턴과 실질적으로 일치하는 패턴으로 배열된 다수의 미세홀을 갖는 애노드 절연층; 상기 게이트 절연층의 미세홀, 상기 게이트 전극층의 미세홀 및 상기 애노드 절연층의 미세홀에 의하여 형성되는 웰 내에 위치하며, 상기 캐소드층에 부착되어 있는 에미터; 상기 애노드 절연층 위에 위치하는 형광체층; 및 상기 형광체층 위에 위치하는 애노드층을 포함하며, 상기 애노드 절연층이 상기 형광체층에 직접 부착되어 분리된 방전공간을 형성하고, 상기 애노드층이 상기 방전공간을 밀폐하는 것을 특징으로 하는 일체형 3극구조 FED.