일반기술
폴리머 미세 바늘 어레이의 제조방법
본 발명은 폴리머 미세 바늘 어레이를 제조하기 위한 금형 및 그 금형을 이용하여 폴리머 미세 바늘 어레이를 제조하는 방법을 제공한다. ; 본 발명에 의해 제조된 폴리머 미세바늘 어레이는 폴리머로 제조되었기 때문에 충격 등에 의해 쉽게 파괴되지 않아 파괴된 조각이 혈류에 포함되어 혈류를 막는 등의 심각한 문제를 야기하지 않으므로, 매우 안전하게 사용될 수 있을 뿐만 아니라, 실리콘이나 유리로 제조하는 것에 비해, 제작공정이 간단하고 제조단가가 매우 저렴해 질 수 있다. 유리기판의 표면에 크롬/금 층을 증착시키는 단계; 상기 증착된 크롬/금 층을 식각공정에 의해 바늘 어레이 단면의 형상을 형성시키는 단계(2); 상기 기판에 음성 감광제 층(5)를 형성시키는 단계; 상기 음성 감광제 층에 UV 마스크(4)를 통해 UV 광원(3)을 수직 노광하는 단계; 및 상기 기판의 유리기판 쪽으로 UV 광원(6)을 경사시키거나 경사판(7)을 이용하여 경사노광하는 단계를 포함하는 미세 바늘 어레이 음각 금형(24)을 제조하는 방법.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 반도체 소자 (B63)
- 보유기관
- 포항공과대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-08-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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