일반기술

양면 벽개가공 기법을 이용한 고온 초전도체 조셉슨 접합 단상구조 및 그 제조방법

고온 초전도체 조셉슨 접합 단상 구조 및 그 제조방법을 제공한다. 본 발명의 고온 초전도체 조셉슨 접합 단상 구조는 Bi 2 Sr 2 CaCu 2 O 8+x 와 같은 고온초전도체 단결정을 포토리소그래피(photolithography)나 전자선 리소그래피(e-beam lithography)를 이용한 미세 패터닝(micropatterning) 공정과 건식 식각(dry etching) 공정을 이용하여 패턴닝하고, 양면 벽개가공 기법을 이용하여 제조한다. 이에 따라, 본 발명은 Bi 2 Sr 2 CaCu 2 O 8+x 와 같은 고온초전도체 단결정이 선천성으로 매우 얇은 CuO 2 초전도층과 절연층(insulating layer)의 조셉슨 접합으로 구성되는 층상 구조를 양면에서 가공함과 동시에 층상구조의 두께와, 상기 층상 구조에 포함된 조셉슨 접합의 수를 제어할 수 있다. 기판 상에 부착되고 선천성으로 초전도층과 절연층의 조셉슨 접합의 층상 구조로 이루어지고, 전체적으로는 단상 구조로 이루어지는 초전도체 단결정; 상기 초전도체 단결정의 하면 및 상면에 형성되고 분할되어 있는 금층; 상기 초전도체 단결정의 하면의 분할된 금층에 전기적으로 분리되어 부착되고 상기 기판 상에 위치하는 제1 전압 전극 및 제1 전류 전극; 상기 초전도체 단결정의 상면의 금층에 전기적으로 분리되어 부착된 제2 전압 전극 및 제2 전류 전극; 및 상기 제1 전압 전극 및 제1 전류 전극의 일부면과 상기 제2 전압 전극 및 제2 전류 전극이 노출되도록 상기 기판 상에 형성된 층간 절연층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고온 초전도체 조셉슨 접합 단상 구조.