일반기술

공기 경계면을 이용한 미세 채널에서의 미세유체 흐름조절용 칩의 제조방법과 미세유체 폭 조절방법

본 발명의 미세유체 흐름 조절용 칩은 실리콘 기판상에 알루미늄층을 증착하는 공정과, 상기 알루미늄층을 패터닝하여 미세히터를 제작하는 공정과, 제작된 상기 미세히터의 전기적 절연을 위하여 SOG 코팅층을 형성하는 공정과, 상기 SOG 코팅층을 패터닝하는 공정과, 미세채널용 몰드를 제작하기 위하여, 상기 실리콘 기판상에 포토레지스트 코팅층을 형성하는 공정과, 상기 포토레지스크 코팅층의 패터닝하는 공정과, 제작된 몰드로 미세채널을 제작하기 위해, PDMS(polydimethyl siloxane)의 내부에 미세채널을 형성하는 공정과, 제작된 상기 PDMS를 몰드에서 떼어내는 공정과, 상기 PDMS와 실리콘 기판을 접합하여 그 사이에 미세채널을 형성하는 공정으로 제작되며, 이와 같이 제작된 미세유체 흐름조절용 칩은 공기 경계면을 이용하여 미세채널에서의 미세유체의 폭을 조절함으로서, 세포나 미세입자 또는 미세채널의 구조에 영향을 미치지 않고 구현을 위한 공정이 용이한 점을 장점으로 하는 것으로, 또한 이를 이용하여 미세채널에서 세포나 미세입자의 계수 또는 정렬의 방법으로 응용이 가능할 것으로 기대되는 효과를 가진다. 미세유체 흐름 조절용 칩의 제조방법에 있어서, 실리콘 기판상에 알루미늄층을 증착하는 공정과, 상기 알루미늄층을 패터닝하여 미세히터를 제작하는 공정과, 제작된 상기 미세히터의 전기적 절연을 위하여 SOG 코팅층을 형성하는 공정과, 상기 SOG 코팅층을 패터닝하는 공정과, 미세채널용 몰드를 제작하기 위하여, 상기 실리콘 기판상에 포토레지스트 코팅층을 형성하는 공정과, 상기 포토레지스트 코팅층을 패터닝하는 공정과, 제작된 몰드로 미세채널을 제작하기 위해, PDMS(polydimethyl siloxane)의 내부에 미세채널을 형성하는 공정과, 제작된 상기 PDMS를 몰드에서 떼어내는 공정과, 상기 PDMS와 실리콘 기판을 접합하여 그 사이에 미세채널을 형성하는 공정을 포함하는 미세유체 흐름조절용 칩의 제조방법.