일반기술

중심이 제거된 나노 구조체 및 이의 제조방법

본 발명은 중심부(core)가 제거된 나노 구조체 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따라 산화아연 나노선 위에 금속, 반도체, 유전체 등의 다양한 이종물질을 코팅시켜 제조된 다중벽(core-shell) 구조의 산화아연계 나노선에서 중심 소재인 산화아연을 부식성 가스, 무기산, 플라즈마 등을 사용하여 제거함으로써 제조된 속이 빈 나노 구조체는, 나노선에 비해 부피 대 단면적 비가 2배 이상 크고, 모양과 길이 및 중심소재 제거 정도의 조절 및 빈 공간에 이물질의 주입 등을 통해 다양한 특성 및 구조를 제공할 수 있고, 다양한 나노소자의 핵심부품을 단일구조체로 제조할 수 있어 다기능 집적형 나노소자 및 나노시스템을 구현하는데 유리하게 이용될 수 있다.유기금속 화학 증착법에 의해 제조된 산화아연 나노선 위에 전이금속계 물질, 질화물 반도체 또는 유전체를 기상 코팅하여 다중벽(CORE-SHELL) 구조의 산화아연계 나노선을 얻은 후, 중심(CORE)인 산화아연을 나노선의 길이를 따라 전체적으로 또는 일부 제거하는 것을 포함하는, 5 내지 30 NM 범위의 직경을 갖는 나노튜브, 나노티 또는 나노캡 형태의 나노 구조체 제조방법.