일반기술

전계방출용 산화물 나노소재의 플라즈마 처리법 및 이를 이용해 처리된 나노소재

본 기술은 전계방출 소자에 관한 것으로, 전계방출소자를 수소 플라즈마 처리하여 우수한 전계방출 특성을 갖도록 한 산화아연계 전계방출소자 및 이를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 기술은 인가된 전기장에 의하여 전자를 방출하는 에미터로서 기판상에 산화아연계 나노바늘을 형성시키는 단계와 산화아연계 나노바늘이 형성된 기판에 대하여 수소 또는 수소가 함유된 가스를 이용하여 플라즈마 처리를 행하는 단계를 포함하여 이루어지며 이와 같은 방법에 의하여 제조된 전계방출소자를 제공한다. 인가된 전기장에 의하여 전자를 방출하는 에미터로서 기판상에 아연-함유 유기금속과 산소-함유 기체 또는 산소-함유 유기물을 이용한 유기금속 화학증착법으로 산화아연계 나노바늘을 형성시키는 단계와 상기 산화아연계 나노바늘이 형성된 기판에 대하여 수소 또는 수소가 함유된 가스를 이용하여 플라즈마 처리를 행하는 단계 를 포함하는 에미터의 전계 향상 계수를 증가시킨 것을 특징으로 하는 전계방출소자의 제조방법.