일반기술

음극아크 방전을 이용한 대면적 평판 코팅장치

본 발명은 음극 타겟 후방에 장착된 영구자석에 의하여 발생된 자기장을 이용하여 평면 음극에 아크를 균일하게 발생시켜 대면적에 균일한 코팅이 가능하도록 한 음극아크 코팅장치를 개시한다. 본 발명의 음극아크 코팅장치는, 타겟을 안치하고 절연시키기 위한 타겟 절연부와, 상기 타겟을 냉각하기 위한 냉각부와, 상기 타겟 표면에 발생된 전자의 이동 경로가 되며, 상기 타겟의 상부에 발생된 아크를 안정화하기 위한 보조 양극과, 상기 아크가 상기 타겟을 벗어나는 것을 차폐하기 위한 차폐부와, 상기 아크의 운동을 상기 타겟의 표면 내부로 제한하고, 상기 타겟 표면에 전면에 퍼지도록 안내하는 이동식 영구자석부를 포함한다. 본 발명의 음극아크 코팅장치는, 자기장의 정밀 제어를 통하여 고가의 타겟의 침식율을 증가시키며, 반응성 가스를 챔버 내부로 유입시켜 TiN, CrN, AlN, WC 등과 같은 고기능성 박막을 균일하게 코팅한다.막 형성물질을 포함하며, 아크가 발생될 때 증발되는 금속으로 된 음극; 상기 음극의 외주면을 둘러싸서 상기 음극을 고정하며 상기 음극을 절연하는 테프론 절연부; 상기 음극을 직접 냉각하기 위한 냉각부; 상기 음극 표면에 발생된 전자의 이동 경로가 되며, 상기 음극의 상부에 발생된 아크를 안정화하기 위한 보조 양극; 및 상기 아크가 상기 음극의 표면을 벗어나는 것을 방지하기 위한 차폐부재; 및 상기 아크의 운동을 상기 음극의 표면 내부로 제한하고, 상기 음극 표면의 전면에 퍼지도록 안내하는 이동식 영구자석부를 포함하는 것을 특징으로 하는 아크방전을 이용한 막 형성장치.