일반기술

UV 경화성 수지의 실시간 경화도 측정장치

본 발명은 UV 나노임프린트(nanoimprint) 공정에서 사용되는 UV경화성수지에 대한 실시간 경화도 측정시스템에 관한 것으로, 적외광을 방출하는 IR광원과, IR광원으로부터 방출된 적외광을 간섭시키는 간섭계와, 간섭후의 적외광이 투과되도록 설치된 UV경화성수지 시료와, 투과된 적외광을 검출하는 검출기와, 검출기의 검출결과를 연산처리하여 출력하는 디지털 프로세서로 구성되며, 상기 시료의 분자구조를 분석하는 FT-IR분광기; 자외광을 방출하는 UV광원과, UV광원으로부터 방출된 자외광을 FT-IR분광기내에 장착된 시료에 조사되도록 안내하는 광가이드로 구성되는 UV조사장치부;를 포함한다.적외광을 방출하는 IR광원과, 상기 IR광원으로부터 방출된 상기 적외광을 간섭시키는 간섭계와, 간섭후의 적외광이 투과되도록 설치된 UV경화성수지 시료와 투과된 적외광을 검출하는 검출기와, 상기 검출기의 검출결과를 연산처리하여 출력하는 디지털 프로세서로 구성되며, 상기 시료의 분자구조를 분석하는 FT-IR분광기;자외광을 방출하는 UV광원과, 상기 UV광원으로부터 방출된 상기 자외광을 상기 FT-IR분광기내에 장착된 상기 시료에 조사되도록 안내하는 광가이드로 구성되는 UV조사장치부;를 포함하되,상기 UV조사장치부는상기 UV광원에서 상기 자외광과 함께 방출되는 적외광을 제거시키기 위해 상기 UV광원의 전방 광로상에 구비되는 콜드미러와,상기 광가이드의 끝단측에 구비되어 상기 광가이드에서 나오는 상기 자외광의 직진성을 강화시키는 집광렌즈를 더 구비하는UV경화성수지의 실시간 경화도 측정시스템.