일반기술

수직형 프로브

본 발명은 수직형 프로브(vertical type probe)에 관한 것이다.; 본 발명은, 수직방향으로 세워져 상단측이 프로브카드측에 고정되고 그 하단측의 팁이 반도체 칩의 패드와 수직으로 접촉되는 수직형 프로브에 있어서, 양단의 중간부에 일정길이로 수직하중에 대해 수직상태를 유지하면서 먼저 분산 변형을 일으켜 상기 팁으로 하중이 집중되는 것을 방지하도록 다수 방향으로 대칭되는 3차원 구조로 된 하중흡수부를 포함하는 것을 특징으로 한다. ; 따라서, 자체 및 접촉손상을 방지하면서, 반도체 칩의 패드와 전체적으로 안정적인 접촉을 실현하고, 저비용으로 대량생산이 가능하며, 고밀도 배열이 가능한 프로브가 제공되게 되어, 전반적으로 검사비용을 절감시키고 검사효율을 향상시키는 효과가 있다. 수직방향으로 세워져 상단측이 프로브카드측에 고정되고 그 하단측의 팁이 반도체 칩의 패드와 수직으로 접촉되는 수직형 프로브에 있어서, 양단의 중간부에 일정길이로 수직하중에 대해 수직상태를 유지하면서 먼저 분산 변형을 일으켜 상기 팁으로 하중이 집중되는 것을 방지하도록 다수 방향으로 대칭되는 3차원 구조로 된 하중흡수부를 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 프로브.