일반기술

원자층 화학증착법에 의한 금속 실리알루미네이트 박막의 제조방법

원자층 화학 증착법에 의한 금속 실리 알루미네이트 박막의 제조 방법을 제공한다. 본 발명은 금속 전구체와 수소를 포함한 실리콘 전구체를 이용하여 금속 실리케이트를 제조하고, 중간 단계에 알루미늄 전구체 이용해 알루미늄 원자층을 추가한다. 이때, 알루미늄 전구체, 예컨대 TMA(trimethylaluminum)와 수증기(H 2 O)와의 반응으로 생긴 작용기(OH)와 TMA가 가지고 있는 리간드(CH 3 )가 실리콘 전구체에 함유된 수소와 반응하여 박막 내의 수소의 양을 줄일 수 있다. 기판을 포함하는 반응 챔버에 금속 전구체, 퍼지 가스, 산화제 및 퍼지 가스를 순차적으로 주입하여 기판 상에 금속-히드록시(OH) 원자층을 형성하는 단계; 상기 금속-히드록시 원자층이 형성된 반응 챔버에 알루미늄 전구체, 퍼지 가스, 산화제 및 퍼지 가스를 순차적으로 주입하여 상기 기판 상에 금속-산소-알루미늄-히드록시 원자층을 형성하는 단계; 상기 금속-산소-알루미늄-히드록시 원자층이 형성된 반응 챔버에 수소를 포함하는 실리콘 전구체, 퍼지 가스, 산화제 및 퍼지 가스를 순차적으로 주입하여 수소가 함입되지 않는 금속-산소-알루미늄-실리콘 원자층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 금속-히드록시 원자층 형성 단계, 상기 금속-산소-알루미늄-히드록시 원자층 형성 단계 및 금속-산소-알루미늄-실리콘 원자층 형성 단계를 사이클적으로 반복하는 것을 특징으로 하는 원자층 화학 증착법에 의한 금속 실리 알루미네이트 박막의 제조방법.