일반기술

초고속 초정밀 대변위 스테이지

본 발명은 유연힌지 구조물과 압전 스택 구동기를 결합시켜 시편을 XY축으로 초정밀 초고속으로 이송하는 장치로서 Y축 방향 유연힌지 구조물을 X축 방향 힌지 구조물 내부에 두어서 높은 속도에서 생길 수 있는 X축과 Y축 간 상호 간섭에 의한 위치 결정 에러를 최소화하고 각 축 방향으로 지렛대 원리를 이용한 증폭 구조 설계로 인해 최대한 변위를 크게 함으로써 작은 변위를 가진 압전 구동기의 단점을 보완한 초고속 초정밀 대변위 정밀 스테이지에 관한 것이다.; 이를 위한 본 발명은, 원자 현미경을 위하여 시편을 XY축으로 이송하는 스테이지에 있어서, 상기 스테이지의 몸체를 형성하며, 유연성의 단위체로 이루어지고, 비대칭 구조의 X방향 스테이지와 Y방향 스테이지로 구분되어 형성되는 유연 힌지 구조물; 압전소자가 적층된 형태로 상기 유연 힌지 구조물에 설치되며, 전압이 인가될 때 X방향으로 변형을 일으키는 X축 방향 압전 구동기; 압전소자가 적층된 형태로 상기 유연 힌지 구조물에 설치되며, 전압이 인가될 때 Y방향으로 변형을 일으키는 Y축 방향 압전 구동기; 및 상기 시편이 탑재되는 시편 탑재 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다. 원자 현미경을 위하여 시편을 XY축으로 이송하는 스테이지에 있어서, 상기 스테이지의 몸체를 형성하며, 유연성의 단위체로 이루어지고, 비대칭 구조의 X방향 스테이지와 Y방향 스테이지로 구분되어 형성되는 유연 힌지 구조물; 압전소자가 적층된 형태로 상기 유연 힌지 구조물에 설치되며, 전압이 인가될 때 X방향으로 변형을 일으키는 X축 방향 압전 구동기; 압전소자가 적층된 형태로 상기 유연 힌지 구조물에 설치되며, 전압이 인가될 때 Y방향으로 변형을 일으키는 Y축 방향 압전 구동기; 및 상기 시편이 탑재되는 시편 탑재 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지.