일반기술

4전극 분리형 시료 홀더

본 발명은 고진공 챔버 내에서 금속 및 반도체 등의 시료처리를 용이하게 하는 시료 홀더에 관한 것으로서, 더 상세하게는 4전극으로 분리되고, 본체는 스테인레스, 세라믹 재료로 구성되고, 시료부착 부분은 몰리브데늄 재료로 형성되며 분광 현미경을 이용하는 실험장치에 적용가능하도록 된 4전극 분리형 시료 홀더에 관한 것이다. 한편, 본 발명은 시료를 열처리함에 있어서 약 3000℃ 까지 홀더가 견딜 수 있도록 시료부착 부분은 탄탈륨 판과 몰리브데늄 재료를 사용하고, 반도체 시료의 열처리를 위한 2극 분리과 직접 시료에 전류를 흘려 열처리를 할 수 없는 시료의 열처리를 위해 전자빔을 만들어 내기 위한 2극을 분리하기 위해 본체는, 절연성이 좋은 세라믹 재료를 사용하고, 이상의 4극 중 후자의 2극은 시료 부착 위치의 2극 보다 일정거리(예; 3mm) 뒤쪽에 위치하여 텅스텐 필라멘트에 전극을 걸어 금속 시료의 뒷면에 전자빔을 쪼여줄 수 있도록 된 시료 홀더에 관한 것이다. 고진공 분광현미경 챔버에 장착되어 금속 또는 반도체 등의 시료 처리를 용이하게 하기 위한 시료 홀더에 있어서, 시료가 부착되는 판 부재; 개별적으로 전원이 인가되도록 4개로 분리된 4개의 전극 부재; 및 상기 각 전극 부재의 전기적 접촉성과 내진성 및 위치 재현성을 좋게 하기 위한 홀더 날개 및 판스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 4전극 분리형 시료 홀더.