일반기술

전계효과 트랜지스터 채널 구조를 갖는 스캐닝 프로브마이크로 스코프의 탐침 및 그 제조방법

본 발명은 평면형 전계 효과 트랜지스터를 제작하고, 그 위에 전도체의 탄소 나노 튜브를 제작함으로써, 날카로운 팁이 형성됨과 아울러 전기적 특성 또한 증가시킨 스캐닝 프로브 마이크로 스코프의 탐침을 제공하며, 이를 위하여, 본 발명은 전계 효과 트랜지스터를 제조하는 제 1 단계; 상기 전계 효과 트랜지스터의 게이트 전극 상부 일단에 탄소 나노 튜브를 성장시키기 위하여 준비하는 제 2 단계; 그리고 상기 준비된 전계 효과 트랜지스터의 게이트 전극 상부 일단에 탄소 나노 튜브 생성하는 제 3 단계; 를 포함하는 전계 효과 트랜지스터 채널 구조를 갖는 탐침의 제조방법을 제공한다.반도체 기판 상에 소스 전극과 드레인 전극 그리고 게이트 전극이 형성된 전계 효과 트랜지스터를 제조하는 제 1 단계; 상기 반도체 기판 상에 형성된 게이트 전극의 끝단 상부에 탄소 나노 튜브를 형성하기 위한 시드 전극으로서 철(Fe)계, 코발트(Co)계, 니켈(Ni)계 또는 티타늄(Ti)계 금속촉매 중 어느 하나를 형성시키는 제 2 단계; 그리고 상기 형성된 시드 전극 상에 탄소 나노 튜브를 성장시키는 제 3 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 효과 트랜지스터 채널 구조를 갖는 탐침의 제조방법.