일반기술

진공 챔버 내부로의 시료 이송장치, 다기능 시료 홀더 및 시료 체인지 어셈블리

본 발명의 진공 챔버 내부로의 시료 이송장치는 진공 챔버 내부에서 시료를 분석함에 있어서, 진공 챔버 내부로 시료 홀더의 이송을 용이하게 하고, 이송된 시료 홀더의 장착을 용이하게 하는 것으로서, 시료를 진공 챔버 내부로 이송하여 장착하며, 시료를 부착하는 시료 홀더, 상기 시료 홀더의 일측에 형성되는 삽입구로 삽입되어 삽입구의 다른 측에 결합되는 돌기를 그 선단에 구비하는 커넥션 로드, 및 상기 커넥션 로드의 시료 홀더 반대측에 결합되는 바아(bar)를 포함한다. 시료를 진공 챔버 내부로 이송하여 장착하는 진공 챔버 내부로의 시료 이송장치에 있어서, 끝에 시료를 부착하는 시료 홀더, 상기 시료 홀더의 일측에 형성되는 삽입구로 삽입되어 삽입구의 다른 측에 결합되는 돌기를 그 선단에 구비하는 커넥션 로드, 상기 시료 홀더와 상기 커넥션 로드의 결합을 상기 이송 방향으로 탄성 지지하도록 상기 시료 홀더와 상기 커넥션 로드 중 적어도 한 곳에 구비되는 탄성부재, 및 상기 커넥션 로드의 시료 홀더 반대측에 결합되는 바아(bar)를 포함하는 진공 챔버 내부로의 시료 이송장치.