일반기술

원자현미경의 각변환 계수 산출방법 및 이 각변환계수를 이용한 원자현미경 마찰신호와 정량화 방법

본 발명의 실시예에 따른 원자현미경 마찰신호의 정량화 방법은, 상기 원자 현미경으로부터 마찰신호를 측정하는 단계와, 원자 현미경으로부터 측정되는 마찰신호에 대한 외팔보의 비틀림 각도의 비(比)로 정의되는 각변환 계수(η)를 구하는 단계와, 상기 각변환 계수(η)로부터 힘변환 계수(κ)를 구하는 단계와, 상기 측정된 마찰신호에 상기 힘변환 계수(κ)를 곱하여 정량화된 마찰력을 구하는 단계를 포함한다. 외팔보의 끝단에 장착된 팁을 분석대상의 표면상에서 이동시키면서 표면의 특성을 검사하는 원자 현미경을 이용하는 방법에 있어서, (a) 평평한 면에서의 수직 항력에 따른 마찰신호(V o )를 측정하는 단계; (b) 최대 마찰신호(V 1 )를 측정하는 단계; (c) 하기 식으로부터 평평한 면에서의 비틀림 각도(θ 0 )를 구하는 단계; 및 [IMAGE 27] , 여기서 a는 평평한 면에서의 마찰신호(V o )에 대한 최대 마찰신호(V 1 )의 비(=V 1 /V o )를 나타내고, b는 팁의 비틀림 중심 높이(H)에 대한 외팔보의 비틀림 강성(k t )의 비(=k t /H)를 나타내며, N s 는 입력되는 수직항력을 나타낸다. (d) 상기 평평한 면에서의 수직 항력에 따른 비틀림 각도(θ 0 )를 마찰신호(V o )로 나누어 각변환 계수(η)를 구하는 단계 를 포함하는 원자 현미경의 각변환 계수 산출방법.