일반기술

디멜틸알루미늄하이드라이드의 점도 저하방법

본 발명은 알루미늄 박막의 제조에 전구체로 유용한 디메틸알루미늄 하이드라이드(dimethyl aluminum hydride, DMAH) 액체의 점도 저하 방법에 관한 것으로, 구체적으로는 액상 디메틸알루미늄 하이드라이드에 방향족 아민을 첨가함으로써 디메틸알루미늄 하이드라이드의 점도를 현저히 저하시키는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 디메틸알루미늄 하이드라이드 혼합 용액은 유기금속 화학 증착법에 의한 박막의 제조에 있어 유기금속 전구체(metal-organic precursor)로 사용될 경우 버블러형 전구체 이송 시스템에서의 버블링 효과가 뛰어날 뿐 아니라 직접 액체 주입형 이송 시스템에의 적용이 용이하고 단위 시간당 증기화되는 디메틸알루미늄 하이드라이드 양이 증가되어 알루미늄 박막의 대량생산에 유용하다. 액상 디메틸알루미늄 하이드라이드에 방향족 아민을 0.5 내지 2 몰% 범위의 양으로 첨가하여 디메틸알루미늄 하이드라이드의 점도를 저하시키는 방법.