일반기술

저유전재료 및 그 제조방법

본 발명은 저유전재료 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 유기치환체를 갖는 실란화합물(organosilane)과 산화규소 에어로겔(aerogel)을 포함하는 저유전재료를 제공하는 것을 특징으로 하고, 상기 저유전재료를 이용하여 초저유전박막을 제조하는 방법을 제공하고 있다. 하기 화학식 1의 유기치환체를 갖는 실란화합물과 산화규소 에어로겔을 99:1 내지 1:99의 중량비로 포함하고, 상기 유기치환체를 갖는 실란화합물과 산화규소 에어로겔 총 100 중량부에 대하여 테트라알콕시실란을 10 내지 80 중량부 포함하는 집적회로의 저유전 박막 형성용 조성물. 〔화학식 1〕 (R 1 O) m (R 2 ) n SiR 3 . 상기 식에서 m+n=3 이고 m은 1, 2 또는 3이며, R 1 과 R 2 는 서로 독립적으로 C 1 - C 10 알킬기이고, R 3 는 비닐, 할로겐, 알콕시, 니트로, 니트릴, 아민, 아크릴옥시 또는 에폭시기 치환체를 말단으로 갖는 탄화수소이다.