일반기술

다면체 구조의 실세시퀴옥산을 포함하는 저유전재료 및 이를 이용한 초저유전박막의 제조 방법

본 발명은 저유전재료 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 유기치환체를 갖는 다면체구조의 실세시퀴옥산 (silsesquioxane)과 산화규소 에어로겔 (aerogel) 을 포함하는 유전 재료를 제공하는 것을 특징으로 하고, 상기 유전재료를 이용하여 저유전박막을 제조하는 방법을 제공하고 있다. 유기치환체를 갖는 다면체구조의 실세시퀴옥산과 산화규소 에어로겔을 9.9:0.1 내지 1:9 중량비로 포함하며, 상기 유기치환체를 갖는 다면체구조의 실세시퀴옥산이 하기 구조식을 갖는 것을 특징으로 하는 유전재료: (R 1 O) m (R 2 ) n [Si 8 O 12 ]. (상기 식에서, [Si 8 O 12 ]는 육면체 구조의 옥타실록산이며, m+n=8 이고 m은 8, 7 또는 5 이며, R 1 은 사이클로펜틸, 사이클로헥실, 2-(클로로디메틸실릴)에틸, 2-(디클로로메틸실릴)에틸, 2-(트리클로로실릴)에틸, 비닐 또는 디메틸실릴옥시 기 치환체를 갖는 지방족 알킬 그룹이며, R 2 는 3-히드록시프로필, (3-히드록시-3-메틸)부틸, 3-(에톡시디메틸실릴)프로필, 3-(디에톡시메틸실릴)프로필, 3-(트리에톡시실릴)프로필, 2-(에톡시디메틸실릴)에틸, 2-(디에톡시메틸실릴)에틸, 2-(트리에톡시실릴)에틸, 3-(클로로디메틸실릴)프로필, 3-(디클로로메틸실릴)프로필, 3-(트리클로로실릴)프로필, 2-(클로로디메틸실릴)에틸, 2-(디클로로메틸실릴)에틸, 2-(트리클로로실릴)에틸, 2-에폭시프로필 또는 에폭시에틸기 치환체를 갖는 지방족 알킬 그룹이다.)