일반기술
화학환원제를 이용한 PFC 분해 시스템
본 발명은 강력한 지구온난화가스인 PFC(Perfluorocarbon) 가스의 효과적인 분해 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 알칼리금속 할로겐화물/고로 슬랙/Si계 성분의 혼합 분말 및 과립을 화학처리제로 사용하여 500 내지 900 ℃ 범위의 온도에서 처리하면 PFC를 높은 효율로 분해할 수 있다. 화학환원제로서의 (1) 알칼리금속 할로겐화물/ (2) CaO 또는 고로 슬랙/ (3) Si 분말 또는 실리콘 웨이퍼 연삭 가공시 발생되는 폐슬러지의 3가지 혼합물의 존재 하에, 과불화탄소(perfluorocarbon; PFC) 가스를 500 내지 900 ℃ 범위의 온도에서 반응시키는 것을 포함하는, PFC 가스의 분해방법.
기술정보
- 기술분류
- 화학 > 분리분석화학
- 보유기관
- 포항공과대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-08-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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