일반기술
유기 금속착물 및 이의 제조방법
본 발명은 하기 화학식 1의 유기금속 착물, 이의 제조방법 및 이를 이용한 유기금속 화학증착법에 관한 것으로, 본 발명의 유기금속 착물은 상온에서 고상으로 존재하며 기존의 유기금속 착물에 비해 휘발성이 우수하여 화학증착법에 의해 란타나이드 또는 산화수가 3인 금속을 포함하는 산화물 박막을 효율적으로 제조할 수 있다.; ; [화학식 1] [IMAGE 1] ; 상기 식에서, M은 란타나이드 금속 및 산화수가 3인 금속원소 중에서 선택되는 원소이고; R은 C 1 -C 4 알킬이며; m은 2 내지 5 범위의 정수이다. 하기 화학식 1로 표시되는 유기금속 착물: 화학식 1 [IMAGE 3] 상기 식에서, M은 란타나이드 금속 및 산화수가 3인 금속원소 중에서 선택되는 원소이고; R은 C 1 -C 4 알킬이며; m은 2 내지 5 범위의 정수이다.
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 분자자기조립 공정 기술
- 보유기관
- 포항공과대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-08-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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