일반기술

산화아연계 나노바늘, 이의 제법 및 이를 이용한 전기소자

본 발명은 산화아연(ZnO)계 나노바늘, 이의 제법 및 이를 이용한 전계방출 소자(Field Emission Display, FED)에 관한 것으로서, 본 발명에 따라 유기금속 화학증착법(Metal Organic Chemical Deposition, MOCVD)에 의해 제조된 산화아연계 나노바늘은 한쪽 끝의 곡률반경이 수 나노미터 이하로 매우 예리하기 때문에 전계방출 특성이 우수하여 전계방출 에미터(emitter)로 사용될 수 있으며, 또한, 촉매를 사용하지 않는 유기금속 화학증착법에 의해 성장되므로 결함이 적고, 결정성이 매우 우수할 뿐만 아니라, 면적이 큰 기판 상에서도 길이, 두께 및 밀도분포가 균일하게 수직 방향으로 잘 배향되기 때문에 차세대 평판 디스플레이인 전계방출 소자 등에 유리하게 이용될 수 있다. 길이가 100 nm 내지 5 ㎛이고, 한쪽 끝의 곡률반경이 1 내지 5 nm인 산화아연계 나노바늘.