일반기술

중심-껍질 구조의 나노입자를 이용한 저유전성 절연막의 제조방법 및 이로부터 제조되는 저유전성 절연막

본 발명은 중심-껍질(core-shell) 구조의 나노입자를 이용한 저유전성 절연막의 제조방법 및 이로부터 제조되는 저유전성 절연막에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 그물망구조의 유기 고분자 중심 입자; 및 상기 유기 고분자 중심 입자를 둘러싸며, 실세스퀴옥산 전중합체로 이루어진 껍질층을 포함하는 중심-껍질(core-shell) 구조의 나노 입자를 이용한 저유전성 절연막의 제조방법 및 이로부터 제조되는 저유전성 절연막에 관한 것이다. a) i) 그물망구조의 유기 고분자 중심 입자, 및 상기 유기 고분자 중심 입자를 둘러싸며, 실세스퀴옥산 전중합체로 이루어진 껍질층을 포함하는 중심-껍질 구조의 나노입자와 ii) 실리케이트 고분자 를 혼합하고 졸-겔 반응시키는 단계; 및 b) 상기 졸-겔 반응 후에 열처리하여 미세 기공을 형성시키는 단계 를 포함하는 저유전 절연막의 제조방법.