일반기술
피에조 구동형 나노 구동 스테이지
미소영역에서 평면운동을 하는 초정밀 나노구동 스테이지로서, 피에조를 이용하여 초정밀 운동을 구현한다.개발된 스테이지는 100 μm × 100 μm의 영역에서 1 nm의 분해능으로 위치결정할 수 있다.플렉셔라고 불리는 미세 스프링을 이용하여 피에조에서 발생된 운동을 안내하기 때문에 안내된 운동은 선형성이 매우 좋고, 또한 구동시 마찰이 존재하지 않기 때문에 분진이 발생하지 않아 청정환경에서 사용하기에 매우 적합하다.스테이지의 구조는 두 축이 동일한 동특성을 갖도록 병렬형 구조로 되어 있다. 스테이지는 평판재료에 와이어 방전가공에 의해 플렉셔를 제작한 후 제작된 평판상에 피에조와 위치센서를 조립해서 초정밀 스테이지를 완성한다. 제작된 스테이지는 구동범위가 작기 때문에 넓은 영역의 구동을 위해서는 일반 X-Y 스테이지 위에 부착하는 이중서보 시스템에 의해 서로의 단점을 보안하며 사용할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기계지능화·로봇 (F53)
- 보유기관
- 한국기계연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-08-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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