일반기술

세정장치에 사용되는 고압세정기

본 발명은 공정이 간소화되고 소요시간이 단축되면서도 효과가 우수한 세정장치에 사용되는 고압세정기를 위하여, (i) 세정될 웨이퍼가 장착될, 돌출부를 구비하는 웨이퍼 장착기, (ii) 혼합물 등이 하측으로 주입될 수 있도록 하는 주입구와, 상기 웨이퍼 장착기의 돌출부가 삽입되어 상기 웨이퍼 장착기가 고정될 수 있도록 하는 웨이퍼 장착기 고정부와, 측면으로부터 슬라이딩되어 들어오는 공압실린더가 삽입될 수 있는 공압실린더 삽입부를 갖는 상부요소, (iii) 상기 상부요소를 상하로 이동시키는 승하강 공압실린더, (iv) 측면으로부터 슬라이딩되어 들어오는 공압실린더가 삽입될 수 있는 공압실린더 삽입부와, 혼합물 등이 배출될 수 있는 배출구를 가지며, 상기 상부요소와의 사이에 상기 웨이퍼 장착기가 배치될 수 있는 공간을 형성하는 하부요소, (v) 상기 상부요소가 하강하여 상기 하부요소와 맞물리면 상기 상부요소의 공압실린더 삽입부와 상기 하부요소의 공압실린더 삽입부 내로 슬라이딩되어 상기 상부요소와 상기 하부요소를 결합시키는 부착형 공압실린더를 구비하는 것을 특징으로 하는 고압세정기를 제공한다.